Kinija susiduria su kritiniu specialių dujų, skirtų labai didelio masto integravimo (VLSI) ir itin didelio masto integravimo (ULSI) programoms, technologijų spraga, o dujos, kurių grynumas viršija 6 N (99,9999 %), visiškai priklauso nuo importo.
Siekdama patenkinti didėjančią elektroninių specialiųjų dujų paklausą puslaidininkių gamybos, elektronikos gamybos ir fotovoltinės pramonės srityse, pastaraisiais metais mūsų įmonė užmezgė strateginę pramonės{0}}universiteto partnerystę su Džedziango universitetu. Bendradarbiaujant daugiausia dėmesio skiriama 6N-klasės elektroninių dujų kūrimui, vidaus technologinių trūkumų šalinimui ir šio kritinio iššūkio sprendimui.
2025 m. birželio mėn. mūsų įmonė įsteigė Džedziango universiteto specialiųjų dujų ir įrangos inovacijų komandą, skirtą puslaidininkių tiekėjams aprūpinti pažangias elektroninių dujų produktų gamybos sistemas.
Vykdydami bendrus tyrimus ir bendrus technologinius laimėjimus, sėkmingai sukūrėme gamybos ir valymo sistemas, skirtas plataus didelio{0}}grynumo specialių dujų, įskaitant: azoto oksidą (N₂O), boro trichloridą (BCl₃), trimetilsilaną (3MS), propileną (C3H₆), oktafluorociklą, F₃H₆, oktafluorociklą. Heksafluoretanas (C2F6), vandenilio bromidas (HBr) ir kt.
Be to, pasiekėme didelių laimėjimų oro atskyrimo įrenginio (ASU) technologijos srityje, realizuodami didelius argono atgavimo rodiklius ir mažą{0}}energijos naudojimą, žymiai padidindami bendrą sistemos efektyvumą ir ekonominį našumą.
Siekdama patenkinti didėjančią elektroninių specialiųjų dujų paklausą puslaidininkių gamybos, elektronikos gamybos ir fotovoltinės pramonės srityse, pastaraisiais metais mūsų įmonė užmezgė strateginę pramonės{0}}universiteto partnerystę su Džedziango universitetu. Bendradarbiaujant daugiausia dėmesio skiriama 6N-klasės elektroninių dujų kūrimui, vidaus technologinių trūkumų šalinimui ir šio kritinio iššūkio sprendimui.
2025 m. birželio mėn. mūsų įmonė įsteigė Džedziango universiteto specialiųjų dujų ir įrangos inovacijų komandą, skirtą puslaidininkių tiekėjams aprūpinti pažangias elektroninių dujų produktų gamybos sistemas.
Vykdydami bendrus tyrimus ir bendrus technologinius laimėjimus, sėkmingai sukūrėme gamybos ir valymo sistemas, skirtas plataus didelio{0}}grynumo specialių dujų, įskaitant: azoto oksidą (N₂O), boro trichloridą (BCl₃), trimetilsilaną (3MS), propileną (C3H₆), oktafluorociklą, F₃H₆, oktafluorociklą. Heksafluoretanas (C2F6), vandenilio bromidas (HBr) ir kt.
Be to, pasiekėme didelių laimėjimų oro atskyrimo įrenginio (ASU) technologijos srityje, realizuodami didelius argono atgavimo rodiklius ir mažą{0}}energijos naudojimą, žymiai padidindami bendrą sistemos efektyvumą ir ekonominį našumą.
