Hanturbo Technology (Zhejiang) Co., Ltd. yra viena iš pirmaujančių elektroninės dujų valymo įrangos gamintojų ir tiekėjų Kinijoje. Mes specializuojamės teikti aukštos kokybės individualias paslaugas už konkurencingą kainą. Jei ketinate pirkti elektroninę dujų valymo įrangą su nuolaida, kviečiame gauti citatą iš mūsų gamyklos.
Aukšto{0}}grynumo elektroninė dujų valymo įranga yra pagrindinė aukščiausios klasės{1}}gamybos sričių, pvz., puslaidininkių, fotovoltinių ir ekranų plokščių, palaikoma įranga. Jis specialiai sukurtas pašalinti priemaišų pėdsakus iš elektroninių{3}}rūšių dujų. Ši įranga naudoja pažangią gilaus valymo technologiją, kuri gali padidinti dujų grynumą iki 99,9999%, užtikrinant stabilius ir patikimus gamybos procesus bei aukštesnę produkto kokybę.
Detalės
Kaip pagrindinė puslaidininkių gamybos pramonės grandinės grandis, didelio{0}}grynumo elektroninės dujų valymo įrangos našumas tiesiogiai lemia lustų gamybos našumą ir patikimumą. Ši įranga yra specialiai sukurta giluminiam elektroninės -klasės specialiųjų dujų (tokių kaip azoto oksidas, boro trichloridas, trimetilsilanas, propenas, oktafluorciklobutanas, heksafluoretanas, anglies dioksidas, anglies monoksidas, vandenilio bromidas ir kt.) valymui. Jis gali veiksmingai pašalinti iš dujų drėgmę, deguonį, kietąsias daleles, metalų jonus ir kitas kenksmingas priemaišas, padidindamas dujų grynumą iki itin aukšto grynumo lygio (didesnis arba lygus 99,9999 %) ir atitinka griežtus pažangių procesų, pvz., 7 nm ir mažesnių dujų kokybės reikalavimus.
Techniniai privalumai
Itin{0}}didelis valymo efektyvumas:Išgrynintų dujų grynumas gali siekti 99,9999% (6N lygis), o priemaišų kiekis yra mažesnis nei pramonės standartas.
Protingas valdymas:Pritaikyta PLC visiškai automatinė valdymo sistema, palaikanti nuotolinį stebėjimą, savarankišką gedimų{0}}diagnozę ir automatinį aliarmą.
Modulinis dizainas:Galima lanksčiai konfigūruoti pagal klientų poreikius, patogu prižiūrėti ir atnaujinti.
Energijos-taupymas ir aplinkos apsauga:Mažas energijos suvartojimas, atitinkantis ekologiškos gamybos koncepciją.
Ilgalaikis{0}}stabilus veikimas:Šerdies valymo medžiagos tarnavimo laikas yra ilgas, o nepertraukiamo veikimo ciklas gali siekti 2–3 metus ar ilgiau.
Kokybės užtikrinimas
Medžiagos pasirinkimas:Visos su dujomis besiliečiančios dalys pagamintos iš 316L EP-nerūdijančio plieno arba aukštesnės kokybės medžiagų, o vidinė sienelė elektro-poliruota iki Ra Mažiau nei 0,25 μm.
Griežtas bandymas:Prieš išsiunčiant kiekvienam įrenginiui atliekami keli bandymai, įskaitant helio masės spektrometrijos nuotėkio aptikimą, dalelių skaičiavimą ir drėgmės/deguonies analizę.
Tarptautiniai standartai:Atitinka SEMI, GB/T, ISO ir kitas vidaus ir tarptautines standartų specifikacijas.
Atsekamumo valdymas:Sukurta visa kokybės atsekamumo sistema, kurios svarbiausi komponentai gali būti atsekami iki žaliavos partijos.
Kliento rūpesčių sprendimai
| Dėmesys klientui | Mūsų sprendimai |
| Dujų grynumas neatitinka standarto | Individualūs valymo sprendimai, užtikrinantys, kad grynumas atitiktų proceso lango reikalavimus |
| Prastas įrangos stabilumas | Perteklinis dizainas + dviguba pagrindinių komponentų atsarginė kopija, MTBF Didesnė arba lygi 80 000 valandų |
| Didelės priežiūros išlaidos | Ilgai{0}}tarnaujančios eksploatacinės medžiagos + internetinė regeneravimo funkcija, sumažinanti eksploatavimo išlaidas |
| Didelis užimtas plotas | Kompaktiškas integruotas dizainas, sutaupantis 30% vietos, palyginti su tradicine įranga |
| Saugos rizika | Keli saugos blokai ir sprogimui{1}}atspari konstrukcija, atitinkanti SEM S2/S8 saugos standartus |
Populiarus Žymos: elektroninė dujų valymo įranga, Kinijos elektroninės dujų valymo įrangos gamintojai, tiekėjai, gamykla
